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氦檢漏測(cè)試

產(chǎn)品描述:

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因氦氣的分子非常小,可偵測(cè)出非常小之漏點(diǎn),如果說(shuō)保壓測(cè)試是測(cè)大漏,氦測(cè)漏則是測(cè)小漏,在莊達(dá)人所著的VLSI制造技術(shù)一書(shū)中提到(氣體管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送氣)如此才不會(huì)造成危險(xiǎn)。

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